Tredimensionel emballeringsenhed af MEMS-sensor og tredimensionel emballeringsmetode og procesteknologi Realiseringselementer

Tekniske implementeringselementer:

5. Det tekniske problem, der skal løses ved den foreliggende opfindelse, er: For at overvinde manglerne ved den kendte teknik er der tilvejebragt en tredimensionel emballeringsanordning for mems-sensoren.

6. Den tekniske løsning, der anvendes af den foreliggende opfindelse til at løse de ovennævnte problemer, er: en tredimensionel emballeringsindretning til en mems-sensor, omfattende et arbejdsbord, og et spor er fast anbragt på toppen af ​​arbejdsbordet, og sporet er anbragt parallelt med venstre og højre retning, og sporet En linse er anbragt lige over toppen, og linsen er fast forbundet med arbejdsbordet, en substrattransportanordning og en renseanordning er anbragt på skinnen, en monteringsanordning er anbragt over skinnen, og monteringsanordningen er placeret på højre side af rengøringsanordningen. side;

7. Anbringelsesindretningen indbefatter en dispenseringsmekanisme, en sugemekanisme og to translationsmekanismer. De to translationsmekanismer er placeret på henholdsvis forsiden og bagsiden af ​​linsen. Dispenseringsmekanismen og sugemekanismen fordeles med bevægelsen af ​​de to translationsmekanismer. del forbindelse, lejligheden

Kontakt os:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tlf.: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894