De tekniske realiseringselementer af knogleledningssensorchip.

Tekniske implementeringselementer:

3. I lyset af dette tilsigter udførelsesformerne af den foreliggende teknologi at tilvejebringe en knogleledningssensorchip til at løse problemet med ustabil følsomhed af knogleledningssensorchippen i den kendte teknik.

4. Den foreliggende teknologi tilvejebringer en knogleledningssensorchip, omfattende: en vibrerende membran; en masseblok placeret på den ene side af den vibrerende membran; og en stopstruktur til at begrænse vibrationsamplituden af ​​masseblokken i en retning parallel med den vibrerende membran. Stopstrukturen bruges til at begrænse amplituden af ​​den vandrette vibration af masseblokken, hvorved interferensgraden af ​​den vandrette vibration reduceres til den vertikale vibration, hvilket sikrer, at den vertikale vibration af masseblokken er mere stabil og forbedrer følsomheden yderligere. ensartethed af chippen.

5. I en udførelsesform omfatter propstrukturen et første stoplag i samme plan og et andet stoplag, det første stoplag er placeret mellem det bevægelige område og massen, og det andet stoplag og det faste område er overlejret; der er et første mellemrum mellem det første stoplag og det andet stoplag.

6. I én udførelsesform er materialerne i det første stoplag og det andet stoplag begge polysilicium.

7. I en udførelsesform er der også inkluderet et offerlag, og offerlaget indbefatter et centralt område arrangeret med mellemrum og et kantområde, der omgiver det centrale område; det centrale område er placeret mellem det bevægelige område og det første stoplag, og kantområdet er placeret mellem det faste område og kantområdet. Mellem de andet stoplag; det centrale område og kantområdet har et andet interval, det andet interval er større end det første interval og kommunikerer med det første interval.

8. I en udførelsesform indbefatter den også en støttestruktur; støttestrukturen indbefatter et første hulrum, og det første hulrum inkluderer en åbning; masseblokken er placeret i det første hulrum, det bevægelige område af den vibrerende membran dækker åbningen, og det faste område er forbundet med understøtningen. Strukturel forbindelse.

9. I en udførelsesform er forholdet mellem det første mellemrum og længden af ​​det første hulrum større end nul og mindre end eller lig med 1/10 i en sektion, der går gennem prøvemassens midterlinje.

10. I en udførelsesform indbefatter stopstrukturen et første hulrum, masseblokken er placeret i det første hulrum, og sidevæggen af ​​masseblokken og væggen i det første hulrum er adskilt fra hinanden.

11. I én udførelsesform er forholdet mellem minimumsintervallet mellem massens sidevæg og væggen af ​​det første hulrum og længden af ​​det første hulrum større end nul og mindre end eller lig med 1/10.

12. I én udførelsesform indbefatter prøvemassen en kropsdel ​​og mindst et fremspring på en sidevæg af kropsdelen.

13. I én udførelsesform indbefatter prøvemassen et andet hulrum.

14. I én udførelsesform indbefatter det første hulrum en åbning; membranen indbefatter et bevægeligt område og et kantområde, der omgiver det bevægelige område; det bevægelige område dækker åbningen, og det faste område er forbundet med stopstrukturen.

15. I en udførelsesform omfatter den også en bundplade på siden af ​​masseblokken væk fra den vibrerende membran; stopstrukturen indbefatter mindst et fremspring anbragt på overfladen af ​​bundpladen tæt på masseblokken, og enden af ​​hvert fremspring er. Overfladen passerer gennem massen; i en retning parallelt med membranen er der et mellemrum mellem sidevæggen af ​​hvert fremspring og massens sidevæg.

16. I en udførelsesform indbefatter det hævede materiale en hvilken som helst af silicium, siliciumoxid og lim.

Kontakt os:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tlf.: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894