Mikroelektromekanisk systemanordning og metode til fremstilling af det samme
Sep 16, 2022
Læg en besked
1. Den foreliggende opfindelse angår det tekniske område af mikromekaniske systemer, og især en mikro-elektromekanisk systemanordning og dens emballagestruktur.
Baggrundsteknik:
2. Mikro-elektromekanisk system (mems, mikro-elektromekanisk system), også kendt som mikro-elektromekanisk system, mikrosystem, mikromaskine osv., refererer til højteknologiske enheder med en størrelse på flere millimeter eller endnu mindre.
3. Mikroelektromekaniske systemenheder (eller mems-enheder) er enheder fremstillet ved hjælp af halvlederteknologi til at danne mekaniske og elektroniske komponenter. Almindelige MEMS-enheder omfatter resonatorer, acceleratorer, tryksensorer, aktuatorer, spejle, varmelegemer og printerdyser. Strukturelle ændringer, såsom revner, rynker, delaminering, vridning, foldning osv., kan endda føre til fejl i enhedens funktion.
4. I lyset af de ovennævnte defekter er det nødvendigt at tilvejebringe en ny MEMS-enhed og dens emballagestruktur.
Kontakt os:
Email: zhang@pride-cnc.com
Tlf.: plus 86-755-23699351
Mob: plus 8618666663894