En slags MEMS mikrovarmeplade baseret på lateral komposit dielektrisk film og dens fremstillingsmetode
Sep 16, 2022
Læg en besked
En slags MEMS mikrovarmeplade baseret på tværgående komposit dielektrisk film og dens fremstillingsmetode
teknisk område
1. Den foreliggende opfindelse angår det tekniske område af mems, især en mems mikrovarmeplade baseret på en tværgående komposit dielektrisk film og en fremstillingsmetode deraf.
Baggrundsteknik:
2. Mikrokogeplader baseret på mems-processen har vist sig at have fordelene ved miniaturisering, lavt strømforbrug, hurtig termisk respons og nem integration og er meget udbredt i mikrogassensorer, mikrogasflowmålere, infrarøde emittere og mikrotermometre. For eksempel, når en mikrovarmeplade bruges til en mikrogassensor, påvirkes mikrogassensorens ydeevne af dens driftstemperatur og mekaniske stabilitet. Normalt skal mikrovarmepladen, der bruges til en mikrogassensor, give en ensartet temperatur på 150 grader til 400 grader og god. Den mekaniske stabilitet af mikrovarmepladen kræver, at opvarmningshastigheden af mikrovarmepladen er hurtig og jævnt fordelt. For at kunne integreres i mobile enheder skal mikrokogeplader reducere strømforbruget så meget som muligt og give en passende temperatur, samtidig med at god temperaturensartethed, mekaniske egenskaber og opvarmningshastighed bevares, hvilket er blevet et hot spot inden for mikrokogepladeforskning.
3. Den aktuelle mems plane mikrovarmeplade bruger generelt sio2, si3n4 eller sio2, si3n4 film kombineret i en vertikal retning for at danne et støttelag og et dielektrisk lag. Den lave varmeledningsevne af mikrovarmepladen, der kun bruger sio2-materiale, er let at øge varmetabet og forårsage termisk deformation ved høje temperaturer. Mikrovarmepladen, der kun bruger si3n4-materiale, kan lindre den termiske deformation ved høje temperaturer og øge opvarmningshastigheden, men den høje varmeledningsevne Egenskaberne for sio2 og si3n4 fører til en stigning i sideværts varmetab og deformation af varmepladen sammensat af sio2 og si3n4 film kombineret i en vertikal retning reduceres, men det laterale varmetab eksisterer stadig. Disse faktorer fører til et større varmeledningstab og højere strømforbrug for den flade mikrokogeplade end mikrokogepladen af hængebrotypen. De alvorlige problemer med mikrovarmepladen af hængebrotypen er imidlertid stor deformation, let beskadigelse og uforenelighed med andre processer i det senere trin, hvilket resulterer i lavt udbytte, lav stabilitet og pålidelighed af forberedelse af enheden baseret på denne type mikro -varm tallerken.
Kontakt os:
Email: zhang@pride-cnc.com
Tlf.: plus 86-755-23699351
Mob: plus 8618666663894